В их работе используется индуктивная или емкостная связь с источником электропитания, поэтому в конструкции отсутствует катод. Разрядные камеры выполняются из непроводящих материалов (кварцевого стекла или керамики). В устройствах применяется газодинамическая изоляция стенок от струи плазмы, поэтому безэлектродный разряд не требует электрического контакта плазмы с электродами. Это позволяет избегать их перегрева и ограничиваться только воздушной системой охлаждения;